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  1. SECS_II_introduction

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  2. secs 协议部分文档,是从事半导体设备开发的有用参考-communication protocal document of SECS II
  3. 所属分类:软件工程

    • 发布日期:2024-06-17
    • 文件大小:156672
    • 提供者:zhangj
  1. SECS GEM

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  2. 详细介绍SECS/GEM通讯规范和SECSII的消息介绍文档(A document about SECS/GEM)
  3. 所属分类:其他小程序

    • 发布日期:2024-06-17
    • 文件大小:677888
    • 提供者:hua789
  1. E5 的 国际单位

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  2. SECS II 规定了文档要用标准的国际单位。本文档是英文SECSII文档里全部国际单位。
  3. 所属分类:其它文档

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